日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2
簡要描述:
日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥,并具有標準的通訊功能(RS485),可實現(xiàn)高精度和高速響應。出色的零點穩(wěn)定性和快速響應。輸入/輸出信號為0-5V,電源為±15V。
產(chǎn)品型號:1 / 4F9 10SCCM N2
產(chǎn)品時間:2024-05-18
日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2
數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥,并具有標準的通訊功能(RS485),可實現(xiàn)高精度和高速響應。
出色的零點穩(wěn)定性和快速響應。
輸入/輸出信號為0-5V,電源為±15V。
日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2
數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥,并具有標準的通訊功能(RS485),可實現(xiàn)高精度和高速響應。
出色的零點穩(wěn)定性和快速響應。
輸入/輸出信號為0-5V,電源為±15V。
電源連接器使用多功能的D-sub 9槽連接器。
通過旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)開關(guān),可以使用主機中注冊的氣體類型。
符合RoHS / CE標準。
引出單元是一種方便的單元,可以與質(zhì)量流量控制器或帶有電纜的質(zhì)量流量計一起使用,以使用質(zhì)量流量的基本功能(例如流量測量和控制)以及流量積分功能和流量事件輸出功能。
產(chǎn)品規(guī)格
型號 | EX-250S-C |
---|---|
電源電壓 | ±15V |
合身 | 1 / 4F900(126.6毫米) |
流動性 | N 2 |
FS流量 | 10SCCM |
標定溫度 | 20℃ |
輸入信號 | 電壓輸入 |
輸出信號 | 電壓輸出 |
工作壓力 | 150?300kPa |
傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
閥門系統(tǒng) | 比例電磁閥(未通電時關(guān)閉) |
目標氣體 | N 2 |
流量范圍 | 10SCCM |
控制范圍 | 2?100%(FS) |
反應性 | 1秒內(nèi)的總流量控制范圍(在±2%FS之內(nèi)),150kPa至300kPa |
準確度 | FS±1.0% |
重現(xiàn)性 | FS±0.2% |
工作壓差 | 50?300kPa |
大入口壓力 | 500kPa(克) |
耐壓性 | 980kPa(大) |
他漏率 | 1×10 -8 Pa ? m 3 /秒以下 |
容許環(huán)境溫度 | 5?50℃ |
精度保證溫度 | 15?35℃ |
儲存溫度 | -10?60℃ |
容許環(huán)境濕度 | 相對濕度10至90%(無凝結(jié)) |
氣體接觸零件 | SUS316,SUS316L,電磁不銹鋼(僅控制器),PTFE,F(xiàn)KM |
電氣連接 | Dsub引腳KFC標準(符合SEMI標準)HR-10A |
流量設(shè)定輸入信號 | 0至5VDC(輸入阻抗約1MΩ) |
流量輸出信號 | 0至5VDC(負載電阻10kΩ或更高) |
數(shù)字信號 | 通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址 |
所需功率(直流) | + 15VDC(±5%)100mA以下,-15VDC(±5%)150mA以下或+ 24VDC(±10%)180mA以下 |
安裝方向 | 水平推薦 |
機重 | 約500克 |
數(shù)量 | 1個 |
單位 | 件 |
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