MS-500氧氣分析儀日本東麗TORAY
簡(jiǎn)要描述:
MS-500氧氣分析儀日本東麗TORAY多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)可以顯示從ppm級(jí)到100%的多種濃度。非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器,以進(jìn)一步提高耐用性
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品時(shí)間:2024-05-21
MS-500氧氣分析儀日本東麗TORAY
- 多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
- 可以顯示從ppm級(jí)到100%的多種濃度。
- 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
- 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
- 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器,以進(jìn)一步提高耐用性
MS-500氧氣分析儀日本東麗TORAY
MS-500設(shè)備規(guī)格
測(cè)量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
---|---|---|---|
形狀 | 分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式) | ||
顯示方式 | 4位數(shù)字顯示(密度顯示) | ||
測(cè)量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓 自動(dòng)范圍 | ||
重復(fù)性 | 在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或更高 ±1%FS以下或≤± 0.1ppm大于0-1ppm的0-1%內(nèi),atm范圍超出了保證的濃度范圍 | ||
測(cè)量點(diǎn)數(shù) | 1-8 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 10 -3至200 KPa(壓力) | |
流量 | 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量) | ||
濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-100℃ | ||
其他 | 不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。 | ||
比較氣 | 大氣層 | ||
記錄儀輸出 | 僅變速箱輸出 | ||
變速箱輸出 | RS-232C | ||
報(bào)警輸出 | 沒有 | ||
熱身時(shí)間 | 6分鐘以內(nèi) | ||
尺寸 | MS-500(控制器) | 92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起) | |
MS-510(轉(zhuǎn)換器) | 100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起) | ||
傳感器單元 | SD16NW | 總長(zhǎng)100 mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51) | |
SD25NW | 總長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48) | ||
SD40NW | 總長(zhǎng)100 mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49) | ||
大眾 | MS-500(控制器) | 約0.6Kg | |
MS-510(轉(zhuǎn)換器) | 約0.5kg | ||
傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
SD25NW | 約0.2Kg | ||
SD40NW | 約0.35Kg | ||
外部連接 | 真空法蘭之一(NW16、25、40) | ||
使用電源 | 24VDC±10% |
氧氣計(jì)LC-450A,LC-450D
可以顯示各種濃度,從在各種濃度到100%的測(cè)量ppm水平。- 改進(jìn)的傳感器耐用性
氧氣傳感器經(jīng)過特殊處理,以提高其耐用性。 - 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
* LC-450D由24V DC驅(qū)動(dòng) - 緊湊且易于安裝
深度比我們的傳統(tǒng)型號(hào)還要短,并且不會(huì)占用太多空間。 - 符合RoHS的產(chǎn)品
- CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003
LC-450A設(shè)備規(guī)格
測(cè)量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
---|---|---|---|
形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
顯示方式 | 4位數(shù)字顯示(密度顯示) | ||
測(cè)量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動(dòng)范圍 | ||
重復(fù)性 | 在±1%FS 0-1ppm之內(nèi),大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍 | ||
取樣方式 | 內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 加壓30 KPa以下 | |
流量 | 1,000-2,000毫升/分鐘 | ||
濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-50℃ | ||
其他 | 不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。 | ||
比較氣 | 大氣層 | ||
記錄儀 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 在4-20mA和0-20mA之間切換(可選0-10V)絕緣,負(fù)載電阻550Ω或更小 記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度 | |
輸出范圍 | 0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動(dòng)/固定范圍 | ||
變速箱輸出 | RS-232C | ||
報(bào)警輸出 | 失?。ㄔO(shè)備錯(cuò)誤) | 1分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 設(shè)備異常導(dǎo)致接點(diǎn)閉合(可以更改接點(diǎn)操作) |
ALM(濃度警報(bào)) | 2點(diǎn)(H / L) | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合(可以更改接點(diǎn)操作) | |
RDY(預(yù)熱信號(hào)) | 1分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC以下,0.5A以下
| |
MRK(范圍標(biāo)記)輸出 | 2分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC以下,0.5A以下 | |
熱身時(shí)間 | 5分鐘以內(nèi) | ||
尺寸 | 身體 | 210(W)x 134(H)x 300(D)mm(不包括突起) | |
大眾 | 約6kg | ||
氣體 連接口 | 進(jìn)口 | Rc1 / 4 | |
旁路輸出 | Rc1 / 4 | ||
出口 | Rc1 / 4 | ||
使用電源 | 100-240VAC,50VA(穩(wěn)定:35VA)50Hz / 60Hz |
LC-450D設(shè)備規(guī)格
測(cè)量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
---|---|---|---|
形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
顯示方式 | 4位數(shù)字顯示(密度顯示) | ||
測(cè)量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動(dòng)范圍 | ||
重復(fù)性 | 在±1%FS 0-1ppm之內(nèi),大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍 | ||
取樣方式 | 內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 加壓30 KPa以下 | |
流量 | ?1,500L /分鐘 | ||
濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-50℃ | ||
其他 | 不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。 | ||
比較氣 | 大氣層 | ||
記錄儀 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 0-10VDC,絕緣,負(fù)載電阻600kΩ或更高 (選件:4-20mADC,絕緣,負(fù)載電阻550Ω或更低) 記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度 | |
輸出范圍 | 0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動(dòng)/固定范圍 | ||
變速箱輸出 | RS-232C | ||
報(bào)警輸出 | 失敗(設(shè)備錯(cuò)誤) | 1分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 設(shè)備異常導(dǎo)致接點(diǎn)閉合(可以更改接點(diǎn)操作) |
ALM(濃度警報(bào)) | 2點(diǎn)(L / LL) | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合(可以更改接點(diǎn)操作) | |
RDY(預(yù)熱信號(hào)) | 1分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 在預(yù)熱操作期間觸點(diǎn)閉合(可以更改觸點(diǎn)操作)
| |
MRK(范圍標(biāo)記)輸出 | 2分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC以下,0.5A以下 | |
熱身時(shí)間 | 5分鐘以內(nèi) | ||
尺寸 | 身體 | 240(W)x 134(H)x 210(D)mm(不包括突起) | |
大眾 | 約5kg | ||
氣體 連接口 | 進(jìn)口 | Rc1 / 8 | |
旁路輸出 | Rc1 / 8 | ||
出口 | Rc1 / 8 | ||
使用電源 | 24VDC±10%,1.25A(30VA,穩(wěn)態(tài)) |
氧氣計(jì)LC-860
- 低濃度測(cè)量
可以測(cè)量ppb到100% - 操作簡(jiǎn)便
按功能可輕松操作 - 吹掃功能
比較氣體更穩(wěn)定,測(cè)量更(僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格) - 高可靠性傳感器傳感器
內(nèi)部還可以進(jìn)行防劣化處理(可選)
LC-860設(shè)備規(guī)格
測(cè)量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
---|---|---|---|
形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
顯示方式 | 6位數(shù)字顯示(密度顯示) | ||
測(cè)量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓 自動(dòng)/固定范圍 | ||
重復(fù)性 | 氧氣濃度在±1%FS之內(nèi)且小于1ppm和0-1ppm,大氣壓范圍超出保證的濃度范圍 | ||
取樣方式 | 內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 加壓30 KPa以下 | |
流量 | ?1,500mL /分鐘 | ||
濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-50℃ | ||
其他 | 不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。 | ||
比較氣 | 大氣層 | ||
記錄儀 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 4-20mA / 0-10V 4-20mA :絕緣,負(fù)載電阻為600Ω或更低 0-10V:絕緣,負(fù)載電阻為500Ω或更高 記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度 | |
輸出范圍 | 0-100%,0-10%,0-1%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm,0-1ppm,10 -20 -10 -0 或自動(dòng)/固定范圍的任意4個(gè)范圍 | ||
變速箱輸出 | RS-232C | ||
報(bào)警輸出 | 失?。ㄔO(shè)備錯(cuò)誤) | 1分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小 由于設(shè)備異常,觸點(diǎn)閉合(可以更改觸點(diǎn)操作) |
ALM(濃度警報(bào)) | 2分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小 發(fā)生警報(bào)時(shí),觸點(diǎn)閉合(可以更改觸點(diǎn)操作) | |
RDY(預(yù)熱信號(hào)) | 1分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量24VDC / AC或更小,0.5A或更小 預(yù)熱操作期間觸點(diǎn)閉合(可以更改觸點(diǎn)操作)
| |
MRK(范圍標(biāo)記)輸出 | 3分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量24VDC / AC以下,0.1A以下 | |
熱身時(shí)間 | 20分鐘以內(nèi) | ||
尺寸 | 身體 | 288(W)x 144(H)x 400(D)mm(不包括突起) | |
大眾 | 約10kg | ||
氣體 連接口 | 進(jìn)口 | Rc1 / 8 | |
旁路輸出 | Rc1 / 8 | ||
出口 | Rc1 / 4 | ||
使用電源 | 100-120VAC±10%200VA 50Hz / 60Hz的 |
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